氯硅烷废液包括：

1、三氯氢硅合成淋洗废液；

2、冷氢化淋洗废液；

3、精馏残液等。

其主要成分包括：

1、低品质三氯氢硅；

2、低品质四氯化硅；

3、低品质二氯二氢硅；

4、铁、铝、钙、钛等形成的金属氯化物（MeCl2）；

5、催化剂（氯化铜或氯化亚铜）；

6、五氯硅烷和六氯硅烷形成的重组分；

7、其它。

氯硅烷废液处理的原则如下：

1、工艺流程尽可能简单；

2、处理成本尽可能低；

3、处理后的产物能够快速而经济的处置；

4、HCl尽可能的回收；

5、根据实际情况出符合实际的工艺方案。

工艺方案：

本工艺方案的副产物为氯化氢气体，一部分冷凝后在本系统内部循环，一部分可以回收用于三氯氢硅合成及氯氢化工段；分离出来的产物为固态混合物，是干燥的、含有少量可溶于水的氯化物，对环境无害。

氯硅烷渣浆液进入专有固体分离+洗涤系统，得到纯净的液体氯硅烷进入后系统处理，得到更加干净的四氯化硅、氯化氢和有机硅；通过专有固体分离+洗涤系统出来的固体废渣，进入提铜系统，可得到铜和硅粉。可以减少95%以上的废水排放，大大降低了环保压力，同时为企业带来一定的收益。